삼성전자, 일부 반도체 생산라인에 국산 불화수소 첫 투입

조선비즈

장우정 기자

입력 2019.09.03 18:53

삼성전자가 국산 불화수소를 반도체 생산공정 일부 라인에 투입한 것으로 확인됐다. 불화수소는 반도체·디스플레이 식각·세정에 사용되는 핵심 소재로 일본산 의존도가 43.9%(한국무역협회 5월 말 기준)에 달했었다.

삼성전자 직원이 반도체 생산 라인에서 제품을 점검하고 있다. /조선일보 DB

3일 삼성전자는 "최근 일부 반도체 공정에서 국산 불화수소를 투입하기 시작했다"고 밝혔다.

대체품 조달·공급은 솔브레인과 이엔에프테크놀로지를 통해 이뤄진 것으로 알려졌다. 두 회사는 각각 일본 스텔리와 모리타의 고순도 불화수소를 수입, 정제한 후 이를 반도체 공정용 소재로 삼성전자에 납품해왔는데, 이를 중국·대만산 등으로 대체한 뒤 납품하시 시작한 것이다. 일본 수출규제가 시작된 지 두달 여만이다.

앞서 1일 LG디스플레이도 국산 불화수소 안정화 테스트를 마치고 이달 중 일부 생산공정에 투입할 예정이라고 밝혔다.

SK하이닉스도 조만간 국산 불화수소를 투입할 수 있을 전망이다. SK하이닉스 관계자는 "아직 대체 불화수소를 투입한 것은 아니지만, 생산 차질이 발생하지 않도록 막바지 테스트를 하고 있다"고 말했다.